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Veeco先进MOCVD设备获台湾M-Com公司订单 用于生产多结太阳能电池

  Veeco Instruments公司宣布,台湾新竹的禧通科技公司(M-Com)订购了一套TuiboDisc E450砷磷MOCVD系统,用于生产高效率的三五族化合物多结太阳能电池。

  公司总经理Lih-Wen Laih表示,禧通科技添购此套E450系统,在于其产量高,生产出的超高质量薄膜,能转化为更高效的多结太阳能电池。Laih希望新添置的E450设备有助于降低10倍的单芯片成本,这对于获取光伏电池市场的份额至关重要。

  Veeco MOCVD部门副总San Direnzo表示,TuiboDisc E450(以及下一代E475)As/P设备针对大批量化合物材料的生产而设计,并具备一定的工艺控制能力与可靠性。它采用了RealTemp200技术可直接实现闭环原位晶片温度控制,并通过快速的开关气体实现弯道处的严格控制。这两项技术的处理可带来优质的材料以及很高的工艺效率。除了用于三结太阳能电池外,设备的用途还包括HBT、pHEMT器件,以及红、橙和黄光高亮度LED、激光二极管等。

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