Aviza刻蚀设备Omega fxP获中国晶圆厂订单

　　Aviza Technology称，中国大陆一家关键晶圆厂订购了Omega fxP刻蚀设备，该设备配备有两个ICP（感应耦合等离子）工艺模块。

　　该设备将用于功率器件的硅沟槽刻蚀及多晶硅的背部刻蚀工艺。

　　Aviza为此Omega fxP刻蚀设备订单的获得而自豪，Aviza公司PVDCVD刻蚀事业部副总裁兼总经理Kevin Crofton表示，Aviza的Sigma fxP PVD此前在该客户工厂成功安装，充分展示了Aviza一流的技术及我们队客户的承诺，为此次订单的获得起到了积极作用。