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日产综研成立“纳米电子元件研究中心” 推进半导体微细化及替代技术开发

  日本的产业技术综合研究所(产综研)于近日成立了“纳米电子元件研究中心”。目的是推进半导体元件的微细化,以及开发取代CMOS晶体管微细化的、基于新原理的技术。    

  该中心将推进32nm及22nm工艺半导体元件的微细化和高性能化。为此,将从高性能元件的试制及其电特性测试、纳米级别的物理测量评价分析、第一原理电子状态计算、元件模拟等全方位的科学计算分析。    

  此外,还将开发取代CMOS晶体管微细化的、基于新原理的技术。这是因为,32nm工艺以后的微细化需要导入新材料、新构造及新生产工艺,但该领域预计到2020年左右将达到极限。通过开发基于新原理的技术,有望解决这一问题。将建立与外部机构共用的研发设施“NeIP(纳米电子技术创新平台)”,与产综研的其他部门及外部机构合作,将其用作把基本技术与元件实证相结合的设施。将以CMOS技术为基础,高效试制新材料及新构造元件,推进可将测定数据和模拟试验结果进行系统性积累的知识管理。    

  另外,该中心为了推进新一代半导体的研发,将继续推进通过NEDO(新能源产业技术综合开发机构)委托的国家项目“半导体MIRAI项目”培育的技术。产综研的新一代半导体研究中心等参与了半导体MIRAI项目。产综研称,半导体MIRAI项目在应变硅技术及高介电常数栅极绝缘膜技术等领域,在保持CMOS晶体管构造的前提下提高性能方面取得了巨大成果。但是,随着CMOS晶体管的尺寸逐渐接近10nm原子水平,需要开展包括半导体之外的技术领域在内的研发等,因此产综研决定设立纳米电子元件研究中心。

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