随着全球半导体重心的转移，本土半导体产业链取得了长足的进步，国产半导体设备也在近年获得快速发展，沈阳芯源微电子设备有限公司（SolidTool）就是其中一家。“国产设备供应商要公平勇敢地参与国际竞争”，日前沈阳芯源总裁宗润福在采访中提到。
沈阳芯源成立于2002年，由中科院沈阳自动化所发起，以半导体生产专用的匀胶/显影机为主导产品。在引进技术的基础上消化、创新、提高，已形成了四个系列产品，包括手动式、轨道式、星型模块式和集束式模块化结构，可用于前道晶圆生产及先进封装（Bumping）生产线，满足客户的不同需求，适于2-12英寸制程需要，在多种基板上进行各种胶膜的涂敷、显影，也可用于不同工序的单片擦片/清洗。
作为本土半导体设备供应商代表，沈阳芯源近两年进入了公司发展的快车道。2006年4月，芯源两台匀胶显影设备进入SMIC上海200mm生产线；同年11月成功通过SMIC全面验收并获全额设备款；2007年1月，SMIC为芯源公司颁发了最佳供应商奖。2007年7月，芯源自主开发的12英寸凸点工艺匀胶设备在江阴长电验收并投入使用，该产品适用于先进封装生产线的PR/PI高黏度厚胶涂敷，这也是首台国产12英寸的半导体设备的销售和应用，是国内首台12英寸芯片制造设备，实现了国产IC装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。
近年来，本土设备商在研发力度和工艺改进上投入更多，取得了一系列的成绩，像刻蚀机、离子注入机、CVD设备、清洗机、晶圆抛光机、晶圆级封装设备以及检测设备等陆续进入主流制造厂运行，对此，宗润福说到，“业内同仁的共同努力结果大大增强了行业对国产设备发展的信心。但我们很清楚这只是我们发展道路上的一个里程点，前面还有很长的路要走。”他表示，半导体产业是一个高度国际化的产业，是巨头的俱乐部、强者的战场，作为国内供应商需要淡化自己的“国产”意识，公平勇敢积极地参与国际竞争。
在勇于面对困境的同时，还应正视现实的差距。目前国内设备厂商与国际大公司的差距还是全方位的，性能指标工艺等级上的差距只是表现形式之一。由于还没有形成批量销售、工艺研究与试验检测不足，供应链不成熟，造成交付周期长，国际上通常3-4个月，而我们需要半年甚至更长时间。宗润福表示，差距与机会并存，国产设备商没有捷径可走，只有“华山一条路”，在迎头前闯的时候必须循序渐进，技术跨度不能太大；要强化工艺研究，切实能为用户解决技术问题并保证服务。
宗润福讲到，客户不会因为是“国产”而格外青睐、格外宽容，客户需要的是高的性价比和优质的服务。有些国内供应商说“客户买进口设备要100万美元，质量和服务当然好，而买国产设备才花200万人民币，差了4倍，质量和服务当然就没保证了。”他表示，这种想法只能使客户更加远离本土厂商；设备的功能可以差一点，但质量和服务不能差，甚至要比国际供应商要更到位，才能立足市场、赢得信任。沈阳芯源目前拥有一批来自美日韩等国家的专家，这些核心团队带领公司在工艺研发和持续的质量改进上起到重大作用。
展望2008年，沈阳芯源将在技术研发尚继续向上、向广、向深三维的发展，并已做了计划和部署。继续提高设备的性价比和产品的适应性，面向不同类型和产品档次的需求，使国内的客户可以更多地享受到本土设备发展带来的益处；另一方面，将积极开发海外市场，用国际标准来衡量自己，争取把中国的半导体设备推向国外。宗润福表示，芯源的活力鼓励客户，客户的信任刺激了公司的发展，芯源在未来依然“和客户共同成长”。
