晶圆加工设备供应商EV Group(EVG)日前宣布收到奥地利技术研发公司NanoTecCenter Weiz Forschungsgesellschaft mbH(NTC Weiz)的订单,订购其EVG620高精度掩模对准系统。
这是NTC Weiz首次订购EVG设备,新设备将用于有机半导体及电子器件的研发。