坐落于浑南新区西产业区的国家传感器工程研究中心日前接到一份来自美国一家公司的订单：进口20万片四英寸传感器芯片，此举标志着国内四英寸芯片的设计、生产、检测能力达到了国际先进水平。国家传感器工程研究中心是沈阳仪器|仪表科学研究院的下属机构，该中心通过完全的自主创新，获得了24项国家专利，而且拥有了四英寸芯片从研发、设计到检测、封装的能力，年生产能力已达100万片。这份订单成为浑南IC产业再次亮给世界的一张名片。
沈阳IC行业选择装备制造为发展目标，是摸索多年找到的准确定位。沈阳IC装备创新产业园负责人郑广文说，“如果IC装备业不能靠自主创新赶上来，只能是代代引进，代代落后，受制于人。”
今年初，由沈阳芯源微电子设备公司自主创新研制的匀胶显影设备通过了辽宁省经委组织的新产品鉴定，共申请了这一技术领域的专利38项，其中发明专利16项，使产品完全拥有自主知识产权，其国产率达70%。目前已形成满足国内多层面用户需求的四个系列产品，并建立了企业标准。一位技术人员告诉记者，浑南的IC装备不仅扬名在外，在浑南内部更是强强联合。比如我们用的真空洁净机器人，就是邻居企业新松机器人的产品。新松机器人公司总裁曲道奎介绍说：“进入IC装备领域是新松的一次技术飞跃。目前企业已经攻克了IC装备机械手及自动传输系统在超净环境下的传动润滑、密封和控制等关键技术。”
如今在浑南新区，已经聚集了中科仪、芯源半导体、新松机器人、博微公司等涵盖IC装备产业链上多数环节的30多家IC装备厂商，已从最初的零部件加工、子系统研制发展到单元、整机制造全面发展格局。
