Mentor DF3 是一个全自动的质量计量五金|工具，旨在在大容量的 300 mm 制造环境下实现原子层计量精度。DF3 监测产品晶圆上的制程绩效变化，从而快速确定设备制造商的制程步骤是否正确。为达到这一目标，DF3 测量每个制程步骤之后的所有晶圆质量变化。这种对产品晶圆的简单测量使该工具能够可靠准确地发现沉积、湿蚀、干蚀或是 CMP 制程之后的制程变化。该工具可以达到等同埃(Å)级材料厚度的质量测量精度。Mentor DF3 每小时能够计量60多个晶圆，仅拥有2m²的小型尺寸，并且可对产品、测试和空白晶圆实施纳米技术重量测量。
Mentor DF3 配备有一个标准的设备前端模块 (EFEM)，内含一个处于微环境下的常压机械装置。该工具可以预先检定FOUP 适配器，以达到无缝处理。DF3 还可被设置成混合晶圆制造环境下的一个桥梁工具，在该环境下，200和 300mm 晶圆被不断互换。作为桥梁工具使用时，该工具的一个负载端口可设置用于 200mm 操作，而其他端口保持用于 300mm 操作。
