Entegris收购IMI部分股权 收纳多晶硅制造设备业务

　　芯片设备厂商Entegris Inc.日前签署协议，以800万美元收购多晶硅子系统供应商Integrated Materials Inc.（IMI）14％的股份。

　　此举将扩展Entegris的产品线。IMI的多晶硅子系统可用于改善半导体扩散工艺的成品率。

　　IMI的SiFusion熔炉设备较同类产品性能具有明显改善，适用于制造200mm和300mm晶圆。该产品被Tokyo Electron、Kokusai、Aviza和ASM选用。