半导体质量测量设备供应商Metryx日前宣布，4月8日将在比利时Leuven的IMEC举办首届技术研讨会，重点讨论质量测量在监控晶圆工艺及先进工艺开发中的关键地位。
出席研讨会的包括Qimonda、ST Microelectronics及AMD等先进制造厂商。届时，会议将讨论在线质量测量在监控晶圆工艺改变及偏离过程中的应用并展望质量测量在先进工艺开发中的重要地位。
Metryx北美及欧洲事业部主管Mark Berry表示，本次研讨会是首次通过提供信息及经验共享的平台来挖掘技术的潜力。质量测量是一种灵活多样的技术，可以提供实时在线反馈从而为监控晶圆制造工艺。我们将重点着眼于工艺监控及工艺开发，为半导体制造产业贡献一份力。
