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ISMI公布保护半导体工艺设备内知识产权的新准则

  ISMI(International Sematech Manufacturing Initiative)日前公布了一套保护半导体工艺设备内知识产权( IP )的新准则。

  该准则的目的是为了在设备软件内嵌入IP保护,为财团和其他合作研发环境所使用的五金|工具创造一个安全的框架。

  该准则保护设备工艺方法、运行率和设备诊断信息,以及所需的关键的软件安全技术,例如基于任务的安全;针对特定对象和工具的受限范围;覆盖芯片制造商和设备供应商各种协作的多种案例。

  不过这里有一个问题,就是如何把两者之间取得平衡分享数据业务,并保护知识产权投资, ISMI主任Scott Kramer表示。

  具体规定包括:

  保密协议详细规定如何在协作过程中使用技术和工艺数据。

  系统结构对接入、认证、用户凭证和信息罢免权有足够的控制。

  识别芯片制造商的工艺相关的IP,以及设备制造商的设备IP 。

  在每个工具达到其使用寿命后,清除所有IP。

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