台湾TFT-LCD面板产业原本的设备皆仰赖进口，但2004年政府大力提倡设备自制后，目前自制率已达4成，自制设备项目达30种以上。为了协助台湾半导体业者也能有自制设备可用，“工业局”官员向本报证实，该局陈昭义局长将于近日内启程，前往国外力邀5家半导体设备商及其主力供应厂商来台投资设厂。
“工业局”官员指出，台湾在友达、奇美皆愿意协助台湾面板设备业者试产的配合态度下，面板产业的自制设备发展极为迅速，从开始投入至今有40%设备可自己制造，而且只花3年的时间。因而台湾半导体业界和政府才有意共同推动半导体设备、维修件国产化的构想。据指出，在政策的支持下，台湾已有IC制造大厂希望至少50%维修件在台生产，以利业者降低成本并提高竞争优势。
事实上，2000年台湾曾在某设备业者的协助下，试图建立半导体维修件的国产自制，然而受限于台湾这方面的经验有限、技术能力亦不佳，该计划最后以失败告终。如今事过7年，台湾半导体制造的技术精进，又有面板业的成功前例可循，因此政府才决定应趁机快速推动半导体设备及维修件自制。根据官方了解，台半导体厂1年的维修件支出约200亿元。
官员表示，台湾毕竟没有掌握到半导体设备的各项专利，初期制造的也会是以较低附加价值的8吋晶圆厂的维修件，未来再渐进式跨入12吋甚至18吋。不过，最重要的是维修件在台湾生产，一定要获得设备商的认证，唯有经认证，台湾晶圆厂才会使用。也因此，“工业局”局长透过某设备业者牵线前去美国、日本招商，将举荷兰ASML来台的例子，尽力说服国外设备商及其关键零组件供货商来台就近支持为数众多的IC制造厂客户。此外，台湾的晶圆厂生产的IC种类繁多，供货商来台投资，会有TEST BED的效益，对供货商的设备销往其它市场亦有利。
