FEI开拓电子束、离子束潜能研发

　　FEI和荷兰Fundamental Research on Matter (FOM)签署协议，将联合研究所和产业的研发资源开展电子显微镜和FIB系统的研究，目标是实现原子级材料结构和工艺的检测。

　　这一富有挑战性的研发项目目的首先在于开发电子显微镜和离子束系统在物理和生物领域的潜能，另外希望增加电子束、离子束、激光与物质的机理研究。