全球半导体单圆片与化学清洗系统供应商Akrion近日宣布，亚洲一家领先的IC器件制造商再次订购Velocity(TM)单晶圆清洗系统，应用于光刻前晶圆清洗中。
所有的IC器件制造包括几道非常昂贵的光刻步骤，而晶圆背面污染引起的景深变化将会造成光刻图样错误，于是光刻前对晶圆背面的清洗尤其重要。
该套系统拥有Akrion专利的Goldfinger兆声波清洗技术，可同时对晶圆正面及背面进行清洗，显著降低了资本费用，另外在同一步骤中即可完成沉积后光刻前的清洗。
Akrion总裁兼CEO James S. Molinaro表示，我们相信拥有专利的Goldfinger兆声波技术将带来超强的除颗粒能力，降低整个IC制造成本。另外，背面去污对于浸润式光刻技术的推广也有着重大意义。
