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奇梦达开发出面向48nm以下DRAM的新型沟道单元 位线间隔削減30%

  据日经BP社报道,德国奇梦达(Qimonda AG)在半导体制造技术国际会议“2007 International Electron Devices Meeting(2007 IEDM)”上,公布了面向48nm以后细微化工艺开发的沟道型DRAM单元技术。

  此次开发的沟道单元,其最大特点是采用了在位线(Bit Line)上设置字线(Word Line)的构造,这种构造叫做WOB(wordline over bitline)。包括90nm工艺、75nm工艺和58nm工艺在内的该公司原来的沟道单元,均采用了在字线上设置位线的构造。

  采用WOB构造有三大优点。第一,位线间隔可削减约30%。这样一来,便可增加信号裕量(Signal Margin)、提高DRAM的性能。由于WOB采用了通过字线遮蔽单元内位线间隔的构造,因此可减小位线间隔。第二,由于可自行调节形成位线接触,因此形成DRAM阵列时需要的掩模比原单元少一片,从而有利于降低制造成本。第三,可自行调节形成的层数,由原单元的一层增至WOB的三层。可自行调节形成的层数的增加,意味着在位置校准时需要高精度定位的层数减少,因此有望提高制造成品率。

  奇梦达利用通过75nm工艺技术制造的512MB DRAM,确认了上述效果。该公司表示,WOB构造还可用于低于40nm的工艺。

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