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新型单晶硅薄膜研制成功 电气特性大大增强

  据日经BP社报道,第14届国际显示器技术专题讨论会上,2008年3月即将关闭的液晶先端技术开发中心ALTEDEC就7年来的成果发表了5篇论文。该中心的远藤以“Recent Advance in Single-Shot Laser Crystallization for Large Si Grain Arrays”为题,介绍了玻璃底板上非晶硅的单结晶化技术。

  使用ALTEDEC开发的“Phase-modulated Excimer Laser Annealing”(利用激光干涉二维控制光强度)技术,可以形成呈阵列状的约5μm×3.5μm单晶硅薄膜。结晶不完全是单结晶,而是局部混有Σ3和Σ9的准单结晶(PSX:pseudo-single crystal)。在该结晶内制作出通道宽2μm、通道长1μm的TFT,并评测了电气特性。结果显示,n通道晶体管的迁移率为848cm2s,p通道晶体管为181cm2s,与采用同样方法制成的SOI特性相同。

  另外,通过改善非晶硅层的薄膜层以及激光照射条件,可以获得21μm×15μm的单晶硅阵列。目前,通过一维发射,可以在2mm×2mm内形成上述阵列。如果扩展为二维发射,还可以支持大尺寸底板。

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