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国内首条具备45纳米产能芯片生产线在沪投产

中芯国际上海12英寸芯片生产线10日在上海浦东张江高科技园区成功投产。这是目前国内4条已投产的12英寸芯片生产线中唯一一条具备生产全球最先进的45纳米芯片能力的芯片生产线。

此前,中芯国际在北京的两条12英寸芯片生产线和无锡海力士12英寸芯片生产线都还只能达到量产90纳米芯片的水平。而随着全球集成电路的快速发展,全球芯片产业已逐渐进入65纳米、甚至45纳米时代。上月英特尔公司发布了16款采用45纳米工艺生产的服务器及高端PC处理器,标志着45纳米芯片产品正式投入到应用领域。

中芯国际总裁兼首席执行长张汝京说,上海12英寸芯片生产线的首批产品仍将是90纳米芯片,但与其他3条生产线以存储器芯片为主的状况不同,上海生产线将以技术工艺要求更高的90纳米逻辑芯片作为主导产品。目前市场前景良好,客户订单纷至,产品供不应求。

在90纳米芯片的基础上,中芯国际上海生产线还在积极酝酿65纳米芯片和45纳米芯片的生产事宜,并计划在明年年底试投产45纳米芯片。张汝京说,中芯国际上海生产线已经引进了目前国内唯一一台浸润式光刻机,“有了它,我们就可以做45纳米芯片的量产,而不仅仅是测试”。

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