Aviza积极扩展ALD设备市场 开始进入逻辑制造领域

Aviza Technology日前收到一份来自日本逻辑芯片制造厂商的重要订单，订购其Celsior fxP原子层沉积系统。这笔具有里程碑意义的订单标志着Aviza ALD设备正式打入逻辑芯片制造领域。这在公司积极拓展ALD设备市场战略中迈出了关键的一步。

这套设备将用来研发45nm节点以下逻辑芯片的高k栅介质及金属电极薄膜。

Aviza的ALD设备主要面向存储器制造领域，包括DRAM及flash。中芯国际也购买了该公司的ALD设备。