AE公司将在SEMICON(r) Japan 2007展会上重点展出最新Paramount(tm) RF功率输送系统,另外,Aera(r) AS-92热蒸发系统、Aera EPV100-AW排气压力控制计、Pulsar(TM)大功率DC脉冲调制器等其它先进产品也会同时亮相。
Paramount(TM) RF功率输送系统具有很快的切换速度,能够缩短工艺时间,获得优异的精确性、可重复性和工艺控制性能。Paramount平台的可选脉冲和脉冲同步特性使其具有很宽的脉冲频率范围,而其阻抗测试精度达到了网络分析仪的水平,从而在13.56MHz固定或可变频率获得了前所未有的功率输送精度和控制性能。
Aera EPV100-AW排气压力控制计采用的专利技术使用户可选择“绝对”或压差控制工艺室的排气压力。EPV实现了对排气压力的精确控制,无论环境压力如何变化,都能准确控制氧化膜厚度。凭借其出众的耐用性、可靠性和降低的功率消耗,EPV 可提高产品成品率并减少拥有成本。
Aera AS-92热蒸发系统具有业界领先的可靠性及流动稳定性,可以提高薄膜均匀性及良率。该系统无须持续监控补充压力便可控制蒸发TEOS, SiCl4, HMDS及其他先进材料。
Pulsar大功率DC脉冲调制器具有40kW, 40/40 kW及80kW脉冲选择,可提高工艺质量及均匀性,增加产量与良率。在建筑玻璃镀膜、平板显示器制造、连续卷绕镀膜等应用中,利用Pulsar可以减少污染、溅射及细裂纹的产生。
AE也将展示数款太阳能光伏领域产品,其中包括Cesar(r) 射频能量发生器。