据EE Times网站报道，德国半导体设备制造商Aixtron向德国Tuebingen大学出售了一台碳纳米管（Carbon Nanotube，CNT）生长设备。该大学购入该设备用于CNT的研发。
该设备在同一个平台中整合了热CVD和等离子增强CVD功能。该大学将用它研发基于CNT的场效应管、真空电子器件和传感技术。
Tuebingen大学教授Dieter Kern表示，该设备使用之便捷和处理之快速给他留下了深刻印象。“该设备的自动模式能使我们用可复用且可控的方式制造单壁和多壁CNT材料。”Kern教授说道。
据悉，Tuebingen此次安置设备的步骤与美国知名高校类同，包括哈佛大学和耶鲁大学。
