据Forbes网站报道，日本Canon日前宣布将开始销售最先进的40nm stepper光刻机，该先进的stepper光刻机采用了专利的浸入式技术，在硅片和投影透镜之间的超纯水膜提高了分辨率。
目前，在stepper设备市场，荷兰ASML公司占有70%的份额，而日本Nikon拥有份额略少于30%，Canon表示要在2010年拿下30%的stepper市场份额。
