IC业带动半导体清洗设备市场增长

    有数据表明，2003年，全球清洗设备的总体市场为10亿美元，今年有望达到14亿美元，明年将会达到20亿美元以上。而我国集成电路产业的飞速发展，无疑为IC清洗设备提供商带来巨大的市场。

    为微电子制造提供表面处理设备技术及支持服务的全球性的供应商FSI国际有限公司日前宣布，在中国采用了与全球其他市场同步发布的方式推出MERCURY Refresh项目。这个被称为MERCURY Refresh的项目将有助于那些需要提升生产能力的客户把投资降到最低。这个项目包括一个设备审核和紧随其后的客户化硬件、软件以及现场支持计划等。

　　在目前主要的清洗技术中，根据IC市场不同产品增长情况会出现不同的需求，FSI公司市场营销副总裁Scott Becker解释说：“如果IC市场上逻辑芯片增长较快，则喷雾式清洗设备用得会比较多，而如果DRAM产品增长较快的话，则浸泡和批量喷雾式清洗设备就会增长比较快。”

　　FSI此次推出MERCURY Re-fresh项目，可以在很多方面帮助客户达到他们把资金、运营以及人力资源方面投资降到最低的目标，例如，可以通过稀释和在线混合化学品来降低运营成本；通过更新的、更可靠的关键部件增加系统运行时间和减少维护成本；通过短周期工艺、工艺集成和在现有设备上增加新应用来提高生产力；通过更先进的方案和工艺控制来扩展到更先进的技术节点等等。

　　在谈到开拓中国市场时，Scott Becker说，为了向中国的集成电路制造商更方便地提供先进设备、配件、现场支持和技术服务，FSI国际于2003年在上海建立了具有全面服务能力的分支机构，并在中国成功地实施了“直接主动进入”策略。