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Hexapod六足机器人/六轴并联动力学定位系统提供亚微米级分辨率

  PI(Physik Instrumente)公司日前发布了一份关于Hexapod六足机器人/六轴并联动力学定位系统的最新产品资料。PI公司主要从事精密传感器及运动控制设备的设计和制造,产品面向光学/光子学、纳米/生物、半导体和生命科学应用。

  Hexapod系统(也被称为Stewart平台)配备了特殊的运动控制器,与传统的级联式系统相比具有鲜明的特点。

  具体来说,较之级联式动力学系统,并联动力学(PKM)系统具有以下优势:面向简单旋转定位任务的可编程支点;惯量小,高刚度;更好的动态特性;更小的封装尺寸;位置误差不累积,偏心误差小;无移动接线,可重复性和可靠性更好。

  这份资料详细介绍了各种标准型和定制型的Hexapod系统,其负载能力从2千克到1000千克不等,分辨率均达到亚微米级。

  PI公司自上世纪90年代初开始从事Hexapod机器人及定位系统的设计和制造,至今,Hexapod已发展成为一个涵盖多种形态和尺寸的大家族,其中有的引入了伺服电机驱动系统,用于移动某些直径可达1米的大型光学装置;有的则采用压电式设计,能提供纳米级的控制精度,适用于半导体晶圆及掩膜。此外,Hexapod还有标准型和定制型,并且提供对应非磁性环境及真空环境的版本。

  Hexapod并联运动控制系统的典型应用领域包括:光学、光子学、通讯、天文、航天、生物、半导体测试及装配、显微镜等。

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