日前，昆山双桥传感器测控技术有限公司推出了SQPS－A100系列胎压传感器芯片。该系列传感器用力敏芯片系采用硅微机械加工技术制造，采用压阻原理，系绝对压力敏感芯片，采用各向异性腐蚀技术和硅硅直接键合技术在硅片内部形成一个长期稳定的真空基准压力参考腔，在表面硅膜上用集成技术制作成惠斯顿应变检测全桥，从而在受力时输出与压力成线性关系的电压信号。
该系列产品的具体技术参数如下：
▼ 标准压力量程 100、200、700、1500、3500 KPa
▼ 最大过载能力 300 %FS
▼ 输入输出阻抗 5±2 KΩ
▼ 零位输出 0±40 mV
▼ 满量程输出 100±40 mV
▼ 线性度 ≤±0.5 ±%FS
▼ 迟滞、重复性 ≤±0.1 %FS
▼ 未补偿零位温漂 ≤±8 ×10-4/℃.FS
▼ 恒流供电灵敏度温漂 ≤±5 ×10-4/℃.FS
▼ 恒压供电灵敏度温漂 ≤－23 ×10-4/℃.FS
▼ 工作温度范围 －40～125 ℃
由于该系列产品具有：固态元件，三维集成MEMS工艺制造，可靠性高；无应力设计与制造，严格自补偿浓度控制，稳定性好；微型尺寸1mm×1mm×0.5mm，单元成本竞争力强；使用方便，适合于任何陶瓷、PCD板、TO－8、塑胶微电子封装等特点。因此可广泛应用于车载轮胎压力监测系统（TPMS产品）以及携带式胎压计、大气压力计；悬挂、刹车、冷媒、进气歧管压力等汽车压力传感器；空气动力学用微型绝压传感器及通用绝压传感器；压力OEM元件制造等方面。
