集成电路有了“中国芯”

      三年的时间，一支平均年龄不到三十五岁的湖南科研团队让国内主流集成电路生产线上首次出现了国产核心装备，走完了发达国家十五年才走完的路。中国电子科技集团公司第四十八研究所所长唐景庭是这支湖南科研团队的领军人物，在他的率领下，二零零三年十二月，四十二名科研人员踏上了北上的征程，组建离子注入机的研发项目攻关组。一百纳米离子注入机是生产集成电路的核心技术，该项目跨越技术水平近五代，国内没有任何可参考的资料和机型，设备复杂程度和技术难度前所未有，特别是国外对该技术一直实行技术封锁。这种局面一直使国内从事离子注入机技术的科研人员抬不起头来，特别是国内集成电路制造公司只能从国外购买一些淘汰的装备。用科研人员的话说，这是用我们的血汗钱购买别人不要的废品。没有技术就要被动落后，离子注入机项目被确定为八六三重大专项，唐景庭和科研团队在北京开始夜以继日的研发工作。刚到北京时，他们六个人挤在一个房间，在租用的写字楼里办公，每天工作在十个小时以上。最后，现场调试纸堆起来差不多有一人高。