中芯国际65nm节点引入Anchor公司DFM解决方案平台

       DFM（可制造性设计）解决方案供应商Anchor Semiconductor与中国大陆最大的晶圆代工厂商中芯国际（SMIC）日前联合宣布，双方将开展更深入的合作，在中芯国际65nm及其以下节点的先进制造流程中更广泛地应用Anchor公司领先的NanoScope Platform解决方案。 

  

      中芯国际此前已在其130nm和90nm节点采用了 Anchor公司的NanoScope产品，包括基于模型的全芯片后RET/OPC验证选项NanoScope-PRV(TM)、以及其他OPC和DFM相关的图形化应用。据悉，NanoScope帮助中芯国际缩短了实现良率改进的时间。由于先进技术节点的业务增长强劲，中芯国际将NanoScope的授权数量增加了一倍，以满足生产所需。 

  

      据称，NanoScope(TM)平台以其独一无二的构架代表了当前业界此类技术的主流，能够在不降低性能的同时保证掩膜制造前的关键层验证的检测精度。来自中芯国际的相关人士对Anchor的NanoScope产品表示了肯定。 

  

Anchor Semiconductor总裁Chenmin H  
u博士对双方开展进一步合作表示高兴。 

链接英文： 
http://www.reed-electronics.com/semiconductor/articleXML/LN612628503.html?nid=2867