(上海微高精密机械工程有限公司，上海 201203) |
关键词：分辨率； IC生产线；二手Steppe广；解决方案 中图分类号：TN305 文献标识码：C 文章编号：1004-4507(2005)03-0004-34 1 国内IC生产线中Stepper现状及市场前景 1．1 国内IC生产线现状 随着科学技术的不断发展和进步，我国微电子产业已进入蓬勃发展的新时期，特别是最近几年以来，我国IC产业的迅速崛起，令世人振奋，有目共睹。但由于受技术水平的限制和西方发达国家对中国的技术封锁，我国IC产业的发展和世界先进水平存在着一定的差距。目前，国际IC产业主体水平为中200MM晶圆、0．18-0．13μm工艺，而且正在向100nm水平过渡，并继续向100nm以下发展；国内IC产业主体水平为中125／中150MM晶圆、0．8 μm工艺，和国际先进水平相比落后约15年的差距。虽然通过合资公司引进的IC生产线已达到0．25 um的水平(如中芯国际可达到0．18μm)，但是和国际先进水平相比仍然落后1～2代。 1.2 国内IC生产线上Stepper装备现状 1．3 国内二手Stepper市场前景看好 1．3．1 二手Stepper设备市场货源充裕 由于半导体产业是典型的技术主导型产业，技术更新周期短，全球通用的半导体设备折旧年限为5年，所以世界顶级半导体制造商为抢占新市场，抢占技术制高点，在建Φ200MM、Φ300MM晶圆代加工厂时，会将Φ125MM、Φ150MM晶圆生产线淘汰出局，于是就出现了大量的Φ125MM、Φ150MM晶圆二手Stepper设备。这些淘汰下线的二手设备大部分进入中国市场。据应用材料公司执行副总裁王宁国博士预测，2004年全球二手设备市场会达到10亿美元，其中，中国市场将占70％。 另据美国应用材料公司统计，2003年≤0．15μm工艺的半导体设备订单达90％以上。这说明≥0．25μm工艺的半导体设备将被淘汰出局。 1．3．2 二手Stepper设备为国内蓬勃发展的半导体生产线增添活力 蓬勃发展的国内半导体产业需要Stepper设备的装备，由于国内Stepper设备的生产尚未形成产业，国产Stepper设备难以满足快速发展的半导体生产线需求。而二手Stepper设备其价格低廉(相对于新设备而言)，仍具有可使用性，正好适合国内半导体产业的发展实情，于是就形成了充满生机的国内二手Stepper设备市场。目前，国内Φ125MM、Φ150MM晶圆生产线上所使用的Stepper几乎都采用二手设备。如上海先进公司在建线时的宗旨是：只要市场能买到二手设备，就绝不买新设备。可见，二手设备已成为国内半导体生产线上的一个亮点。 在“十五”期间我国仍将大规模集成电路生产线的建设列为半导体产业发展的重要内容，具体目标为：建设3-4条Φ150MM芯片生产线，扩大市场适销对路产品的生产能力；建设4-5条Φ200MM芯片生产线，形成0．35-0．18μm技术产品的生产加工能力；建设1—2条Φ300MM芯片生产线，形成0．18-0．13μm技术产品的生产能力。到2005年全国集成电路产量要达到200亿块，销售额达到600-800亿元，约占当时世界市场份额的2％-3％，满足国内市场50％的需求；到2010年，全国集成电路产量要达到500亿块，销售额达到2000亿元左右，占当时世界市场份额的5％，满足国内市场50％的需求。为实现这一目标，国家、地方政府和企业联合投入，建设国家级集成电路研发中心，开发集成电路大生产技术。 总之，今后几年国内二手Stepper设备市场的需求主要集中在Φ125 mm、Φ150 mm和部分Φ200MM晶圆生产线;目前正在运行旧线技术改造及瓶颈部位的扩充；IC生产技术升级、产品换代导致的关键设备(如Stepper)更新；运行中生产线上已失去可使用性Stepper设备的更新。所以，国内二手Stepper设备市场前景看好是无容置疑的。 2 国内IC生产线中二手Stepper解决方案 通过以上的分析可见，国内迅速发展壮大的半导体生产线需要更第的Stepper设备来装备。由于(1)国产Stepper设备的生产尚未形成产业，难以满足市场需求；(2)国外发达国家对中国的技术封锁：(3)国内半导体产业投资资金不足等原因。所以，二手Stepper设备已成为目前国内投资建线的首选。 2.1 IC生产线中二手Stepper解决方案 以下两种解决方案可供用户选择： 第一种方案：用户向专业二手Stepper设备公司提供其IC生产线工艺技术要求，由专业二手Stepper设备公司根据IC生产线工艺技术要求，提供从Stepper设备采购、翻新改造、安装、调试等一整套的技术支持与服务。 第二种方案：用户自己采购Stepper设备，由专业二手Stepper设备公司提供设备安装、调试、改造等技术支持。 不管采用那一种方案，有二个问题必须注意： 第一、二手Stepper设备问题。由于是二手设备，所以设备的选购问题尤为重要。在设备选购上应注意的问题：(1)设备生产厂家、设备型号、配置情况；(2)设备状况(包括设备新旧程度、设备可使用程度、设备可维修性等)；(3)设备安装、调试问题；(4)设备翻新、改造问题；(5)搬运过程注意的问题；(6)保修及售后服务问题。 我们建议用户最好选用专业二手Stepper设备公司，因为Stepper设备系统、结构很复杂，要求很高。设备状况从表面上难以判断。对需要翻新、改造的Stepper设备，最好在专业二手Stepper设备公司完成后，再运往使用现场。 第二、二手Stepper技术支持问题 购买Stepper设备的目的是为了提高IC生产线工艺制造技术水平，为企业创造更大利润。就Stepper设备而言，特别是二手Stepper设备，在投入使用后的技术支持尤为重要。众所周知，IC生产线上Stepper设备的无故障工作时间直接影响芯片产量。目前许多经营二手Stepper设备的经营商不具备技术支持能力，而Stepper设备在使用过程中出现故障是常见现象，关键在于对所出现的故障能否及时排除，所以我们建议用户最好选用具有专业Stepper设备技术支持能力的厂商进行合作。 2．2 国内专业二手Stepper设备公司 由于原生产厂家对已下线的二手Stepper设备不再承担安装调试、零配件的供应和维护等技术支持，所以在国内有一个专门从事二手Stepper设备翻新改造、安装调试、零配件供应和维护等技术支持的厂商(或部门)非常重要。目前，在国内专门从事二手Stepper设备翻新改造、安装调试、零配件供应和维护等技术支持的厂商只有上海微高精密机械工程有限公司一家。 2．2．1 上海微高精密机械工程有限公司简介 目前该公司基本状况： (1)目前该公司拥有多年来从事Stepper设备研制开发的工程技术人员50多名，五个项目小组可以同时在五地开展二手Stepper设备的安装、调试、翻新、改造、维护等技术工作。 (2)工作环境条件为800m2净化厂房，可同时进行10多台Stepper设备翻新改造。 (3)长年备有0．2-1μm的Stepper设备多台，现货供用户选择。 (4)拥有大量的Stepper备件及消耗晶，为用户及时提供现货供应及服务。 (5)根据用户需求，可以对Stepper设备进行翻新，翻新后的设备基本具有和原机相同的技术指标、精度要求，对Stepper设备的翻新主要包括以下内容： 系统重新安装；性能测试及评价；设备功能恢复(包括硅片传输系统、掩模传输系统、照明系统、镜头控制系统、自动调焦系统、自动调平系统、硅片工作台系统、掩模对准系统、硅片对准系统等)：设备精度恢复(包括曝光光强及均匀性、分辨率、镜头畸变、调焦精度、步进精度、套刻精度、调平精度、掩模旋转精度、尤、丁硅片台正交性、预对准精度、掩模光栏精度等)； 也可以根据用户需求，对设备进行改造，设备的改造包括承片台改造、硅片传输系统改造(如硅片切边探测、透明晶片传输、半透明晶片传输、Φ75mm晶片传输、Φ100MM硅片传输等)、计算机及控制软件系统的更换及升级、掩模传输系统及掩模对准系统改造等。 (6)该公司不仅有固定的供货渠道，而且有齐全的备件储备，专门为用户提供IC生产线上0．2-1μm的Stepper设备解决方案，由于是本地企业，语言交流方便，对用户来说，无疑是较为合适的选择。 在设备的买卖、安装、调试、翻新、改造、维护等方面，上海微高公司具有以下优势： (1)技术优势 该公司拥有多年来从事Stepper设备研制开发的工程技术人员、专家，雄厚的技术力量和多年来从事Stepper设备的工作经验，是做好这项工作的宝贵财富。 (2)价格优势 同样档次的设备(包括技术支持)，和国外二手Stepper设备经营公司相比，价格低廉。 (3)快速、优质、可靠的技术服务优势 聚集了国内Stepper行业不同专业类型的优秀人才，为用户提供方便、优质、快速、可靠的技术支持与技术服务。 3 结束语 总之，国内IC生产线上所需的0．2～1μm二手Stepper设备，上海微高公司提供买卖、安装、调试、翻新、改造、维护等成套解决方案，该公司在Stepper领域不断地进行技术更新与升级，正在为国内更高档次的Stepper设备提供技术支持与技术服务做技术准备，彻底解决用户的后顾之忧。 |
