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Design Rule 相关介绍

Design Rule 相关介绍

本篇介绍的design rule只针对CMOS技术。画版图时需要按design rule的要求来操作,所以
也就有我们常提到的DRC(design rule check),对设计规则的检测工作。Design rule根据工
艺,工厂设备,制作流程和水平等相关指标,设定出一个相符的规则,以保证生产出的chip
是有效的。Design rule与layout有很大的关系,有很多重复的劳动都是源自于design rule的
upgrade。也就是在circuit不变的情况下,如果design rule有变化,layout也要跟着变化(这
里无形之中就增加了不少的工作量。)所谓design rule有变化是指,同一家工厂的制程变化
或者在同一家工厂以不同的工工艺生产,在不同的工厂生产等情况下,所造成的design rule
的变化,但无论是何种原因引起的,layout总是要动手改的。所以,作为一个layout ENGINEER
是有必要对design rule有足够的了解的,并知道存在design rule的用意在何处。

Design rule有micron-based rule与LAMBDA-based rule之分,LAMBDA-based rule是由Mead &
Conway methodology 所决定,其大意规则转意他人对之的归纳:(unit为LAMBDA)

Diffusion的最小宽度 (>=2)
Diffusion之间间隔的最小宽度。(避免两个diffusion相接造成漏电流)(>=3)
Poly的最小宽度(>=2)
Poly之间间隔的最小宽度(因为poly下无空乏区)(>=2)
Poly与diffusion间隔的最小宽度(为避免poly跨过diffusion造成寄生电容而增加RC-delay)
(>=2)
Gate –poly超出diffusion的最小宽度。(避免diffusion的重叠而造成短路)(>=1)
Implantation超出gate-poly的最小宽度。(避免被错误掺杂)(>=1.5)
Implantation 与相邻diffusion间隔的最小宽度。(避免被错误掺杂)(>=1.5)
Contact 最小的长及宽度 (>=2)
Contact与diffusion的最小包覆值。 (>=1)
Diffusion 中两个contact的间距。(>=2)
Contact和gate-poly的最小间距。(注意diffusion寄生电阻影响流经contact的电流)(>=2)
METAL的最小宽度。(因wafer表面不平坦,所以放宽线宽)(>=3)
METAL之间最小间隔。(>=3)
METAL包覆contact最小宽度。(>=1)

(需要注意所通常所讲的名词active, oxide, thin oxide,implant及diffusion 的之间的关系)

除此之外,还要考虑如:
well包含diffusion的最小宽度
well与之外的diffusion间隔的最小距离。
Poly包含contact的最小宽度。



一般我们拿到的design rule均为一个规范文档,所以虽然描述仔细,但却不实用。在画图
时,翻来翻去也不利于记忆,所以本人归纳了一些方法来简化design rule的记忆和操作,具
体如下:
一般命令规则:层的关系 层1,层2…层n [类型] :值 //注释

w : well w[n] : nwell
m : METAL m[1] : METAL1;
p : poly p[2] : poly2;
o : oxide; t : thin oxide d : diffusion a : active;
i : implantation i[p] : p+ implant
c : contact
v[2] : via2
g : gate
eX : extension
eN : enclose
wD : width
sP : spacing
oV :overlap
nO : not
[p+] : p+ type;
[n+] : n+ type;
[i] : min
[x] : max;
[i&x] : min and max
[p+/i] : p+ type and min size

例:
eNmc:1.0 //METAL enclose contact min size 1.0u
wDc[i&x]: 1.0;//contact min and max size 1.0 u
eXpd[p+] : 1.0;//poly extend p+ type diffusion 1.0u
sPcg : 1.0 //contact space gate 1.0u

按类似的规则制定出一个表格,就能一目了然。



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