净化空气的方法

洁净室的设计是要使生产免污染晶圆的能力更完整化。设计时的主要思路是保持加工车间中空气的洁净。自动化生产也是降低污染的一种重要方法。这个问题将于“工艺设备”一节与第十五章展开讲述。共有四种不同的洁净室设计方法：

1. 洁净工作台
2. 隧道型设计
3. 完全洁净室
4. 微局部环境