完全洁净室方法净化空气

洁净室设计和过滤技术的发展，允许我们又回到敞开式加工区域的建设（见图5.12）, 在最先进的设计中，空气过滤包括天花板中的HEPA过滤器，并从地板上回收空气，保持持续的洁净空气流。工作台顶部带有贯通穿孔，可使空气无阻碍地流过。

图5.12 洁净室空气层流截面图(国际半导体版权所有)
Fresh Air新鲜空气
Fan风扇
Service Chase维修区
Slab Floor混凝土层
Plenum高压区
HEPA Filters HEPA过滤器
Clean Room洁净室
Equip设备
Optical Equip光学设备
Perforated Floor过孔层
Vibration-stiff optical mount防阵支架
Fan 风扇
Service Chase维修区

一个重要的洁净室参数是再循环利用度。这个参数是指在人员换班、人员休息或其他干扰因素之外，空气通过过滤器回到洁净室以满足要求所需的时间。在一级洁净车间中，空气每六秒钟循环一次。7
设备与厂务系统的设计趋势是要隔离晶圆与污染源。VLF式洁净罩隔离了晶圆与室内空气，隧道设计隔离了晶圆与大量的人员流动。CMOS（互补型场效应晶体管）集成电路的出现增加了工艺流程，而且也增加了洁净室中的设备。这样就使加工车间的面积加大而增加了潜在的污染源，包括大量的空气和增加的工作人员。但这些变化使得洁净室的建造费用高达几十亿美金。