1 扩散的实质
2 扩散系数D及讨论
2.1 扩散系数D与温度有关
2.2 扩散系数D与扩散杂质种类及扩散机构有关
2.3 当Ns>ni 时，扩散系数D与表面杂质浓度Ns，与衬底杂质浓度NB有关
2.4 扩散系数D与衬底晶格完美性有关
2.5 扩散系数D与衬底取向有关
3 杂质扩散机构
3.1 间隙式扩散
3.2 替位式扩散
3.3 两种扩散机构的比较
3.3.1 两种扩散机构均遵从菲克第一定律
3.3.2 两种扩散机构的扩散系数D内涵不同
3.3.3 两种扩散机构的扩散系数D比较
3.4 金杂质的扩散机构
3.4.1 晶格不完美，而金的杂质浓度较低
3.4.2 晶格完美，而金的杂质浓度趋于饱和
3.4.3 一般情况
课程重点：本节介绍了扩散的实质，认为从热力学中总结出了扩散的描述，即由于杂质浓度不均匀而产生的杂质定向运动和由于温度分布不均匀而产生的热传导均可认为属于扩散；介绍了杂质在半导体中扩散的定义；对菲克第一定律表达的的扩散方程，说明是应用了热传导方程作为研究杂质在固体中扩散的基础而推出的。本节介绍了扩散系数D的意义及表达式，讨论了表达式中各项的含义；说明了扩散系数D与温度存在的关系、说明了扩散系数D与扩散杂质种类及扩散机构存在的关系、说明了在特定条件下扩散系数D与表面杂质浓度Ns及与衬底杂质浓度NB存在的关系、说明了扩散系数D与衬底晶格完美性存在的关系、还说明了扩散系数D与衬底取向存在的关系。本节介绍了杂质扩散的扩散机构，指明什么是间隙式扩散，间隙式扩散的特点、间隙式扩散的杂质、进行了间隙式扩散的扩散流表达式与菲克第一定律表达式的对比；指明什么是替位式扩散，替位式扩散的特点、替位式扩散的杂质、进行了替位式扩散的扩散流表达式与菲克第一定律表达式的对比 ；进行了两种扩散机构的比较，进行了两种扩散机构的扩散系数D的比较 ，清晰的比较结果判定了何种类型杂质为快扩散杂质、何种类型杂质为慢扩散杂质。本节介绍了金杂质的扩散机构，指出金杂质的扩散机构中既有间隙式扩散又有替位式扩散；两种扩散机构的比重分配，既取决于衬底晶格的完美程度又取决于金杂质在扩散系统中的浓度；说明了为什么一般认为金杂质是快扩散杂质的原因。
课程难点：杂质由于浓度不均匀而在半导体中的扩散与温度不均匀而引起的热传导之间的内在关系分析。菲克第一定律物理意义及菲克第一定律物表达式的三维形式和一维形式。扩散系数D的物理意义及数学表达式；扩散系数D 与各种因素的关系及其分析。杂质在半导体中的两种扩散机构；间隙式扩散的定义，间隙式扩散的特点、间隙式扩散的杂质、及如何进行间隙式扩散的扩散流表达式与菲克第一定律表达式的对比；替位式扩散的定义，替位式扩散的特点、替位式扩散的杂质、及如何进行替位式扩散的扩散流表达式与菲克第一定律表达式的对比 ；两种扩散机构相同点的比较，两种扩散机构的表达式相同而内涵不同的扩散系数D的比较 分析。金杂质的扩散机构分析和讨论。
基本概念；
1扩散-由于物体内部的杂质浓度或温度不均匀（物体中两相的化学势不相等）而产生的一种使浓度或温度趋于均匀的定向运动。
2 杂质在半导体中的扩散-由杂质浓度梯度引起的一种使杂质浓度趋于均匀的杂质定向运动。
3 间隙式扩散-杂质进入晶体后，仅占据晶格间隙，在浓度梯度作用下，从一个原子间隙到另一个相邻的原子间隙逐次跳跃前进。每前进一个晶格间距，均必须克服一定的势垒能量。
4 替位式扩散-杂质进入晶体后，占据晶格原子的原子空位（空格点），在浓度梯度作用下，向邻近原子空位逐次跳跃前进。每前进一步，均必须克服一定的势垒能量。
基本要求：要求知道扩散的实质是由热力学中总结出来的，由于杂质浓度不均匀而产生的杂质定向运动和由于温度分布不均匀而产生的热传导均可认为属于扩散；要求清楚杂质在半导体中扩散的定义；要求了解菲克第一定律推出的扩散方程，是应用了热传导方程作为研究杂质在固体中扩散的基础而推出的。要求熟悉扩散系数D的意义及表达式，知道表达式中各项的含义；要求知道扩散系数D与温度的关系、要求知道扩散系数D与扩散杂质种类及扩散机构的关系、要求知道在特定条件下扩散系数D与表面杂质浓度Ns及与衬底杂质浓度NB的关系、要求知道扩散系数D与衬底晶格完美性的关系、要求知道扩散系数D与衬底取向的关系。要求熟知杂质扩散的扩散机构，知道什么是间隙式扩散，间隙式扩散的特点、间隙式扩散的杂质、间隙式扩散的扩散流表达式与菲克第一定律的对比；知道什么是替位式扩散，替位式扩散的特点、替位式扩散的杂质、替位式扩散的扩散流表达式与菲克第一定律的对比 ；要求清楚两种扩散机构的比较，要求清楚两种扩散机构的扩散系数D的比较 ，要求能由比较结果判定何种类型为快扩散杂质、何种类型为慢扩散杂质。应清楚金杂质的扩散机构中既有间隙式扩散又有替位式扩散；两种扩散机构的比重分配，既取决于衬底晶格的完美程度又取决于金杂质的在扩散系统中的浓度；清楚一般认为金杂质是快扩散杂质的原因。
