1.1 版图及版图分析
1.2 最小面积晶体管版图在集成电路版图设计中的意义
2 集成电路制造中常用的晶体管版图图形
2.1 常用的晶体管版图
2.2 与常用的晶体管各版图对应的工艺剖图
2.3 各种典型晶体管的结构和电性特点
2.4 有关多发射极晶体管
课程重点:本节介绍了集成电路制造中所采用的最小面积晶体管版图设计及如何实际应用;介绍了常用的各种晶体管版图及其对应的工艺剖图,如单基极晶体管版图及其对应的工艺剖图结构、双基极晶体管版图及其对应的工艺剖图结构、双基极双集电极晶体管版图及其对应的工艺剖图结构以及双发射极双集电极晶体管版图及其对应的工艺剖图结构;并讨论了各种结构晶体管的电性特点。还给出了多发射极晶体管的版图结构 。
课程难点:集成电路版图设计通常是由集成电路中晶体管版图开始的,而该晶体管版图通常是最小面积晶体管的版图。因此,掌握什么是最小面积晶体管,其版图是如何确定的非常重要。另外,掌握集成电路制造中常用的各种晶体管版图及其对应的工艺剖面结构也是十分重要的。
基本概念:
1 最小面积晶体管-由图形最小尺寸(图形最小线宽和图形最小间距)构成的晶体管。
2 基区短路铝条-晶体管工艺结构的基区表面制备的铝层,它有平衡基区电位的作用。
基本要求:了解最小面积晶体管的定义,熟悉最小面积晶体管的版图及其相应的工艺剖面结构,清楚它在集成电路制造中的意义。熟悉各普通晶体管可能采用的各种版图;能熟练的给出各种版图及其与版图对应的各种工艺剖面图。会分析各种结构晶体管的电性能特点;能在集成电路设计时,根据不同要求选定不同图形晶体管结构。了解多发射极晶体管的版图特点,以及为何选用“长脖子”基区和在基区中设置短路铝条。