洁净室的物质与供给

除了工艺化学品以外，加工晶圆还需要大量的其他物质与供给。这些物品须满足洁净度要求。记录单、表格和笔记本都需要用无脱落表面的纸张或聚脂塑料制造。铅笔是不允许使用的，钢笔须是不能擦去字迹的。
晶圆储存盒是由特殊的不产生微粒的物质制造，运输车与反应管也是一样。车轮与设备不使用润滑油脂。在许多区域中，机械工具与工具箱要经过清洁，并存放在洁净室里。