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晶圆制备关键术语和概念

关键术语和概念

晶体 籽晶
晶胞 熔融物
多晶 晶体生长
单晶 直拉法
晶体定向 区熔法
<100>晶面 液体掩盖直拉法
<111>晶面 晶圆参考面
点缺陷 晶圆参考面代码
晶体位错 化学机械抛光
原生缺陷 背损伤
边缘倒角 切片
滑移 空位



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