集成电路生产线

集成电路生产线(IC production Line)是实现IC制造的整体环境，由净化厂房、工艺流水线和保证系统(供电、纯水、气体纯化和试剂组成。IC发展到VLSI后，加工特征尺寸达到亚微米级，集成度上升到106以上，从而对各道工艺环节和制造环境的颗粒和微污染控制都很严格，IC生产线把相关的工艺设备视为一个整体，在群体内实现高度的自动控制，井保证相应的净化条件。硅片在群体间由机器人或机械手传递，整个生产过程实现了无纸化、在线质量检测、统计分析以及信息的实时管理。