隧道/车间概念

随着更严格的颗粒控制成为必要，VLF型工作台就产生了一些缺点。其中主要是由于车间中众多工作人员的移动而产生的易污染性。进出于加工车间的工作员对所有流程的工作台都存潜在污染。
把加工车间分割为不同的隧道可解决人员污染问题（图5.11）。这时过滤器被装于车间天花板上，而不是在单独工作台中，但是起的作用相同。经过天花板中的过滤器流入的空气可保持持续洁净，并且会降低人员产生的污染，这是因为减少了工作台周围的工作人员。但这种方法的缺点是建造费用较高，而且不适于工艺改动。

图 5.10立式空气层流-蒸气-排风工作台截面图
To Factory Exhaust System到工厂排风系统
Air Flow空气流
Fumes蒸气
Chemical Beaker化学品容器

图 5.11隧道型洁净室截面图
HEPA Filters HEPA过滤器
Clean Air 洁净空气
Process Work Station 工艺工作台