人员产生的污染
洁净室工作人员是最大的污染源之一。即使一个经过风淋的洁净室操作员，当他坐着时，每分钟也可释放十万到一百万个颗粒。12当人员移动时，这个数字还会大幅增加。当一个人以每小时两英里的速度走动时，他每分钟会释放高达五百万个颗粒，这些颗粒都是来自坏死的头发和脱落的皮肤。其它的颗粒源还有喷发胶、化妆品、染发和暴露的衣服。图5.18列出了从不同的操作人员的动作中产生的污染物的水平。13
普通的衣服，即使在洁净服内，也会给洁净室增加上百万个微粒。在洁净度非常高的洁净室内，操作员只能穿用无脱落材料而且编织紧密的衣服。而用毛线和棉线编织的服装则被禁止，而且洁净服要制成高领长袖口的。
人类的呼吸也包含着大量的污染，每次呼气向空气中排出大量的水汽和微粒。而一个吸烟者的呼吸在吸烟后在很长时间里仍能带有上百万的微粒。而体液，例如含钠的唾液也是半导体器件的主要杀手。健康的人是许多污染的污染源，而病人就更加严重了。特别是皮疹与呼吸传染病患者还会产生额外的污染源。一些制造厂对患特定病症的工作人员进行另行安排。
从总体来看，唯一使工作人员适于洁净室工作的可行的办法是把人员完全包裹起来。而且洁净室工作人员的洁净服材料因洁净度的要求不同而不同。对一个典型的洁净区（图5.18）服饰材料应不易产生脱落，并且含有导电的纤维以对释放静电。一般使用材料为聚酯与GORETEXTM。还要要求权衡材料的过滤能力与操作员穿戴的舒适度。与手套一样，重新清洗还是一次性废弃，在洁净服的使用中也是难以抉择，大多数ULSI加工厂发现可以再利用的洁净服，即使有一定的清洗费用，也可降低整体费用14。
身体的每一部分都要被罩住。头部要用内帽来罩住头发，外面再套一层外罩，外罩的设计与脸部相适合，并带有披肩，以确保用工作服盖住披肩以压住头罩。面部用面罩来罩住，面罩有各种式样，从手术医师式到完全的滑雪式。在一些洁净室，内部与外部面罩同时使用。眼睛也是产生液态微粒的主要来源，用带有侧翼的眼镜盖住（通常是安全眼镜）。在控制污染非常重要的区域，操作人员带有完全防护罩，可完全盖住头和脸部。以宇航服的头套为模型，衣服可接有过滤带、吹风机和真空系统。新鲜空气由真空泵提供，而过滤器保证呼出气体的污染物不被吹进洁净室。15
图 5.18 引发微粒增加的活动(混合电路技术手册, Noyes出版)
Normal Breath正常呼吸
No Particles无微粒
Smoker’s Breath after Smoking吸烟后吸烟者的呼吸
Sneezing喷嚏
Sitting Quietly 安坐
Rubbing Hands On Face手摩擦脸
Walking步行
Stamping Foot on Floor用脚跺地板
完全罩住身体的服装（巴尼服），可罩住腿、胳膊和脖子，设计较好的工作服要把拉锁也盖住，而且没有外面的口袋。
脚也用鞋套盖住，有的还带有连到小腿的护腿。在对静电敏感的区域，还有静电带用以释放放静电电压。
手要至少带上一副手套。大多使用是医用型 PVC 手套，这种手套的触觉感觉舒适。操作化学品时使用的手套的材料有桔红色的橡胶手套（防酸），绿色的氰橡胶手套（防溶剂）和银色的多层PVA手套。（防特殊溶剂）16。有些区域，内部可戴一副棉质手套以便穿戴舒适。手套应拉长压住袖口，防止使手臂上的污染物进入洁净室。
皮肤脱落物可用特制的润肤品进一步控制，这种润肤品能够使皮肤湿润，但它不能包含盐分和氯化物。
总之，穿衣的顺序应该是从头向下穿，这样处理是使在上一步所扬起的灰尘用下一部位的服饰盖住。而最后带上手套。控制来自洁净室的工作人员污染的特殊洁净服装与穿戴程序是众所周知的，不过最有效的预防手段就是对操作人员的培训和操作人员的落实情况。区域中工作人员对洁净室的纪律要求很容易松懈，而使洁净室的污染度升高。
