1.1 典型pn结隔离结构中npn管带来的寄生效应
1.2 pn-介质混合隔离结构中npn管带来的寄生效应
1.3 介质隔离结构中npn管带来的寄生效应
2 集成电路中电阻结构带来的寄生效应
2.1 典型pn结隔离结构中电阻的结构特点
2.2 引入的寄生器件
2.3 电路中电阻的使用特点
2.4 集成电路中电阻结构引入的寄生电容
3 集成电路中典型倒相器引入的寄生效应
3.1 集成倒相器的构成及其寄生
3.2 去除有源寄生的措施
课程重点：本节主要介绍了常规集成电路制造中典型元件-基区扩散电阻制造带来的寄生效应，它在集成电路中的典型工艺剖面结构为三层二 结结构；典型器件npn管制造带来的寄生效应，它在集成电路中的典型工艺剖面结构为四层三结结构；典型倒相器制造带来的寄生效应，它应含有电阻制造带来的寄生和npn管制造带来的寄生。这些寄生均分为有源寄生效应和无源寄生效应，有源寄生效应影响集成电路的直流特性和瞬态特性，是极其有害的；而无源寄生仅影响电路的瞬态特性。本节重点是npn管制造带来的寄生效应，其有源寄生-寄生晶体管对集成电路性能带来的不良影响。介绍了如何从工艺上采取措施消除这种有源寄生的影响，所采取的工艺措施是在npn管集电区掺金（相当于在pnp管基区掺金）和在npn管集电区设置高浓度n型埋层（影响pnp管基区性质），它们的作用原理是：掺金的作用，使pnp管基区中高复合中心数增加，少数载流子在基区复合加剧，由于非平衡少数载流子不可能到达集电区从而使pnp管电流放大系数大大降低。埋层的作用有两个，其一，埋层的下反扩散导致pnp管基区宽度增加，非平衡少数载流子基区渡越时间增长，非平衡少数载流子在基区的复合率增大，从而使pnp管电流放大系数降低；其二，埋层的上反扩散导致pnp管基区掺杂浓度增大，基区方块电阻减小，由晶体管原理可知，这将导致发射效率下降从而使pnp管电流放大系数降低，综上所述，各作用的结果使寄生pnp管的电流放大系数降至0.01以下，则有源寄生转变为无源寄生，仅体现为势垒电容的性质。
课程难点：集成电阻制造.集成晶体管的制造.集成倒相器的制造在集成电路中实际带来的无源寄生-电容；有源寄生-晶体管均将参与电路工作。由集成电阻和集成晶体管在集成电路中可能工作状态的分析，集成晶体管结构将带来有源寄生，从而影响集成电路的直流工作性能。因此，需尽可能采取各种工艺措施来消除这种有源寄生的影响。
基本概念：
1 埋层的上反扩散-在工艺制造过程中的各高温条件下，在浓度梯度的作用下，高浓度的n型埋层向低浓度的n型外延层的扩散。
2埋层的下反扩散-在工艺制造过程中的各高温条件下，在浓度梯度的作用下，高浓度的n型埋层向低浓度的p型衬底的扩散。
3 典型集成电阻的三层二结结构-指p型扩散电阻区-n型外延层-p型衬底三层，以及三层之间的两个pn结这样的工艺结构。
4典型集成晶体管的四层三结结构--指npn管的高浓度n型扩散发射区-npn管的p型扩散基区-n型外延层（npn管的集电区）-p型衬底四层，以及四层之间的三个pn结这样的工艺结构。
5 有源寄生-存在寄生晶体管的现象，可为寄生pnp管（衬底参与构成的pnp管），也可为寄生npn管（多发射极输入晶体管各发射区与基区构成的npn管）。
6无源寄生-存在寄生元件的现象，可为寄生电容，也可为寄生电阻。
基本要求：了解集成电路制造中的特有工艺结构隔离岛和隔离墙的形成，知道隔离结构的存在会使集成元器件制造时带来寄生效应，而寄生效应分为产生有源寄生器件和产生无源寄生元件两种情况。当工艺条件或电性条件满足时，有源寄生可以转变为无源寄生。在三种隔离结构中，集成元器件的制造所引入的寄生效应种类不同，且强弱不同的分析，知道三种隔离结构寄生特点的区别。掌握在集成电路制造和使用中，如何去除集成元器件结构带入的有源寄生效应，使有源寄生变为无源寄生。了解集成电阻和集成npn管在集成电路中的电性等效结构和工艺剖面结构，进而了解由它们构成集成倒相器时，各自的寄生是如何影响倒相器的电性能的，知道如何去除集成倒相器制造中产生的有源寄生。
