酸，碱和溶剂

酸和碱
半导体工艺需要大量化学液体来刻蚀、清洗和冲洗晶圆和其它部件。化学家们把这些化学品分为三大类：7

**酸
**碱
**溶剂

酸和碱的不同之处在于液体中离子的不同。酸中含有氢离子（hydrogen ions），而碱含有氢氧离子（hydroxide ions）。对水分子的研究解释了不同之处。
水的化学式一般写成H2O，它也可写成HOH。将其分解，我们发现水是由带正电的氢离子（H+）和带负电的氢氧离子（OH-）。
当水与其它元素混合，要么是氢离子，要么就氢氧离子与其它物质结合（图2.19）。含有氢离子的液体叫做酸，含有氢氧离子的叫做碱。通常在家中就可找到酸和碱：柠檬汁和醋是酸，氨水和溶于水的苏打是碱。

酸、碱
图2.19 酸碱溶液

酸进一步可分为两类：有机的和无机的。有机酸含有碳氢化合物而无机酸没有。磺酸是有机酸，氢氟酸是无机酸。
酸和碱的强度和反应用pH值来衡量。该值从0到14，7为中性点。水既不是酸又不是碱，所以其pH值为7。强酸如硫酸（H2SO4）pH值较低为0到3，强碱如氢氧化钠（NaOH）pH值比7要高。
酸和碱都会与皮肤和其它化学品发生反应，必须按规定的安全规程来存储和操作。
溶剂
溶剂是不带电的，pH值为中性。水就是溶剂，实际上它溶解其它物质的能力最强。在晶圆工艺中也经常应用酒精和丙酮。
晶圆工艺中大多数溶剂是易挥发易燃的。要在通风良好的地方使用，要按照规定规程来存储和使用，这是非常重要的。
安全问题
在半导体工艺区域存在着化学品存储、使用和处理的危险，电的危险和其它危险。公司应通过培训和安全检查来提高员工的知识、技能和认识。

从左到右依次为：硫酸、柠檬汁、橙汁、干酪、奶、纯水、蛋清、硼砂、镁乳、冲影液、石灰、氢氧化钠
酸性增强、碱性增强（碱性、腐蚀性）
图2.20 pH测量系统