由于As在Si和SiO2中固溶度不一样，定义杂质在Si和SiO2中的平衡浓度之比为分凝系数，故从Ⅰ区向Ⅱ区扩散时，As的浓度在Si/SiO2界面处将按分凝系数m的比例进行分配。杂质在Ⅰ、Ⅱ区在的扩散方程为：
解上面的方程得出[12]：
