1 常规制版工艺流程
2 制版工艺简介
2.1 原图绘制
2.1.1 总图绘制
2.1.2 原图刻制
2.2 初缩
2.3 精缩兼分步重复
2.4 生产版的复印
课程重点:本节介绍了常规制版工艺。介绍了常规制版工艺的工艺流程,包括草图绘制、总图绘制(包含了按一定比例放大的整套光刻版的所有图形)、原图刻制(分刻每一块光刻版的版图-也称为分图刻制)、 初缩(将版图缩至中等尺寸)、 精缩兼分步重复(与生产版完全相同尺寸)、生产版的复印(为了得到长寿命的光刻版)。对常规制版工艺中几个重要部分诸如原图绘制、初缩、精缩兼分步重复和生产版的复印做了较详细的介绍。
课程难点:常规制版工艺流程及其分析; 总图绘制的定义及其所要做的工作;原图刻制的定义及其所要做的工作;初缩的定义及其所要做的工作;精缩定义及其所要做的工作;分步重复的定义及其所要做的工作;生产版的复印的定义及其所要做的工作。
基本概念:
1总图绘制-将设计图选择适当的放大比例(100-1000倍)画在标准方格坐标纸上(包含各次光刻版的所有图形)。
2原图刻制-从总图上描刻出各次光刻版的原图红膜(与实际光刻版图相比放大了适当的放大倍率)。
3 初缩-初步缩小。以各次光刻版的原图红膜为物,将原图缩至中等尺寸。
4 精缩-精确缩小。以初缩版为物,进行进一步缩小照相,将版图缩至生产用刻版图的尺寸。
5 分步重复-在一块版上制备出成千上万个相同光刻图形的过程(要求版上有图形的面积大于衬底片面积)。
6 生产版的复印-采用精缩版为光掩模,在铬底版或氧化铁底版上制备图形与精缩版相同的生产版的过程。
基本要求:掌握常规制版工艺流程,能够对制版工艺流程进行分析。知道总图绘制是如何定义的,清楚总图绘制所要做的工作。知道原图刻制是如何定义,,清楚原图刻制所要做的工作。知道初缩是如何定义,,清楚初缩所要做的工作。知道精缩是如何定义,,清楚精缩所要做的工作。知道分步重复是如何定义,,清楚分步重复所要做的工作和分步重复后对版的图形要求。知道生产版的复印是如何定义,,清楚生产版的复印所要做的工作。