1 版的图形尺寸精确
2 版的套准误差小
3 版的黑白反差高
4 图形边缘光滑陡直无毛刺、过渡区小
4.1 过渡区定义和特点
4.2 过渡区产生的原因
4.3 过渡区造成的影响
5 版面光洁无针孔、小岛及划痕
5.1 版面缺陷
5.2 版面缺陷的影响
6 版面耐磨、坚固、不变形
课程重点：本节前介绍了光刻版的质量在器件制造中的作用，指出：对最简单的三极管制造至少需要四块光刻版，而常规集成电路制造至少需要六块光刻版；每一块光刻版的质量均对器件制造成品率有着很大的影响，而整套光刻版对器件制造成品率的综合影响，是每一块光刻版对器件制造成品率影响的“与”关系。本节介绍了光刻工艺对光刻版的质量要求。光刻工艺对光刻版的质量六条要求之间也是“与”关系。
课程难点：光刻版的缺陷造成的器件的光刻成品率的含义及其关系式，整套光刻版对器件制造成的光刻成品率的综合影响。要求器件的图形质量与 光刻版图形质量的关系；光刻套合精度与光刻版套合精度的关系；版的黑白反差的定义、含义及其要求；光刻版图形的过渡区定义和特点、过渡区产生的原因、过渡区对器件制造造成的影响；光刻版图形的缺陷有哪一些，它们对器件制造造成的影响。
基本概念：
1 版的黑白反差-指版上的黑区与白区的光密度差。
2 版的过渡区-指版上的图形由充分黑到充分白或由充分白到充分黑的过渡宽度。
3 版面针孔-指版面黑区上的一微米以上的白点。
4 版面小岛-指版面白区上的一微米以上的黑点。
5 版面划痕-指版面黑区上的严重的白色划道或挫伤。
基本要求：要求清楚光刻版上的的缺陷如何造成了器件的光刻成品率的降低，知道光刻成品率与每一块光刻版缺陷密度的关系式，若干次光刻总成品率与整套光刻版的每一块光刻版缺陷密度的综合关系式。能够知道器件的图形质量参数一定，则应对光刻版图形质量提出什么要求。能清楚的知道光刻套合精度与光刻版套合精度的关系；知道版的黑白反差的定义、含义及其要求；知道光刻版图形的过渡区定义和特点、过渡区产生的原因、过渡区对器件制造造成的影响；知道光刻版图形的缺陷种类，了解它们对器件制造造成的影响。
