Air Products：积极布局中国市场 应对先进制程挑战

   　全球半导体制造业向45nm技术迈进的步伐不断加快，国际设备材料供应商在SEMICON CHINA上展出了其迎合先进工艺技术的产品，空气化工产品公司（Air Products）是其中的一家。 
　　Air Products提供特殊气体和化学品、大宗气体和化学品、气体和化学品输送设备及相关服务, 可用于生产集成电路, 化合物半导体, 平面显示器和其他电子设备，如太阳能电池等，包括：电子特殊气体和化学品、ACT光刻胶去除剂和后研磨清洗剂、GASGUARDUHP气体输送系统、CHEMGUARD化学品输送系统、大宗气体和管道气体、MEGASYSTM全面气体与化学品管理等。在为期三天的Show上，Air Products重点展出了其应用于45nm技术节点的材料解决方案——先进的低K材料Schumacher PDEMS™和高K前驱物材料。当谈及先进制程，Air Products全球电子部副总裁及总经理Corning F. Painter表示：“先进工艺技术对所有的设备材料供应商都是一个机遇和挑战，半导体器件特征尺寸不断细微化，对材料和气体供应提 
出更高要求。对于我们,建立技术实力，针对客户工艺的需求加大研发力度，为客户提供更新的产品和技术。同时与领先的晶圆厂和半导体设备制造商合作，在应用层面上了解先进工艺对气体和化学品材料的需求，并探讨提升措施。” 
　　对于快速增长的电子产业，Painter指出，Air Products公司不断满足客户尖端工艺的需求，提供大规模生产的大用量的气体等材料；然后提供整合性的解决方案，对于单独的材料可以容易实现其功用，而Air Products则更多保证了材料间的可连接性，让气体、化学品等材料之间达到最佳的匹配效果，从而发挥最大效用；同时，Air Products在不断加强与客户的紧密联系，以贴近客户的形式强化市场供应能力。 
　　据Air Products中国电子部总经理段定夫介绍，2006年对于Air Products公司，是具有战略意义的一年。去年2月，Air Products公司上海工厂开业；9月，公司落户西安，加强了对中国西北部地区的供应能力； 10月， Air Products做出策略性的决定，将以电子产业成长最快速的亚洲作为该公司全球领导团队的营运中心，Painter接替服务Air Products达31年后退休的Gerald G. Ermentrout的职位。自此，Air Products公司的电子特殊材料、晶圆厂业务开发以及整个部门的全球领导团队都转移至亚洲区。对此，Painter表示：“亚洲是Air Products电子事业领域最大、成长最快的地区，领导团队的转移使我们更加接近我们的客户。我们将不断加大对亚洲尤其是中国地区的投资，建立更多的工厂和分公司，以贴近本土市场需求。” 
　　日前Air Products公司已完成其位于上海的中国技术中心的扩建工程，从而为亚洲地区快速增长的业务提供支持。扩建工程建在毗邻现有厂房的地块进行。新建的设施包括两套高压聚氨酯设备及其附属设备，以及两座用于喷涂技术开发的喷涂间。此外，Air Products还将新建一间拥有通风橱、化学品储存区域以及相关办公区域的多用途实验室，以提供新的应用和产品的开发、技术服务、工艺研发等。这次扩建中国技术中心将有助于Air Products提高其产能、丰富材料解决方案产品线，并为公司亚洲地区的重要客户提供更有力的支持。段定夫介绍，Air Products正在加快本土化进程，专为龙腾光电建立的氮气工厂日前正式投产，该厂也是在中国第一家从设计、制造到维护充分采用本地资源建成的氮气工厂；以后氟系列相关产品也将计划在国内生产。 
　　鉴于气体和化学品的特殊性，其供应和输送具有危险性和操作细节复杂性，物流工作承受了巨大的挑战。晶圆加工中使用的上百种需要特殊运输和存储的危险化学品和气体，也必须得到及时和安全的供应。段定夫介绍到，国内地区广泛、半导体和电子产业分布呈分散化状态和区域性强的特点，也加大了供应链的管理难度。段定夫作为SEMI中国物流工作小组的主席，他介绍说：“目前，Air Products以及业内多家公司都参与了SEMI的物流工作计划，以机构的力量并共同探讨零配件和危险化学品物流的解决方案，并与政府部门、制造商等进行沟通合作，以达到快速安全供应。” 
　　2007年对于半导体业是平稳过渡的一年，大部分供应商和制造商都希望“软着陆”。Painter认为，由于记忆体芯片的成长，今年全球半导体工业将有5-10%的增长，而中国或许可以达到10-15%。同时，新的应用带来高生产能力、大供应量要求和一些新的需求。Air Products将持续加大在国内的投资，并加强与高校和设备供应商等建立合作伙伴关系，扩充市场能力，重点立足于基础制造和先进技术研发，以稳定的可控成本的供应快速回应客户尖端技术的需求。 
　　采访即将结束的时候，聊到了Intel大连晶圆厂的动向，新的Fab的兴建对所有供应商来说都是个机遇，这也回应了展会的口号：Opportunity is Growth.