BOC Edwards：覆盖全球市场 聚焦中国客户

   　BOC Edwards在SEMICON CHINA 2007重点展示了其最新一代气体净化处理系统ATLAS系列产品线。该系统使用NF3气体及等离子体处理技术，能够以较低的成本处理包括增强型等离子化学气相淀积、高密度等离子化学气相淀积、钨化学气相淀积在内的各类化学气相淀积工艺排放的气体。设备可以净化处理包括氟、硅烷、四乙基原硅酸盐、六氟化钨、氨气等各类气体。ATLAS的操作工序包括燃烧处理（该项内燃烧技术已被广泛认可）和两步湿法清洗处理，它可以满足废气、粉尘处理的各项需求，并且具备优异的耐腐蚀能力。ATLAS 支持多达6 路气体输入并具有包括温控系统在内的多种可选配件。Atlas TPU系统可以进行PFC和ClF3气体处理；Atlas Kronis 可以进行低K材料CVD工艺排气处理。通过降低额外组件的数量，整套价值引导的产品具有与BOC其他产品同样卓越的性能和核心可靠性，但资本成本更低，极大地降低了购置成本。 
　　据BOC Edwards中国区总经理许坚介绍，BOC目前的业务主要分为半导体设备和一般真空系统两大块。由于2006年全球半导体产业成长和投资加大，BOC半导体设备部门全球销售额超过10亿美元，比上年增长了25％；随着亚洲地区工业化进程加快，BOC一般真空系统业务也在不断增长。同时，由于Hynix-ST 200和300mm存储器芯片前端制造厂开业、中芯国际300mm晶圆厂量产以及国内TFT-LCD事业的迅速发展等， BOC中国区业务也实现了翻番。 
　　对于在中国市场的成功经验，许坚总结了两点：一是贴近客户，半导体业设备投资巨大，对其稳定性要求非常高，作为供应商需要紧紧跟随客户需求提供一整套的服务和on-site支持，让客户更好的集中于芯片制造，从本质上为客户实现成本控制和高运行效率；二是在中国建立完善的供应和服务系统，鉴于中国半导体制造业分散化的特点，目前BOC在国内建立了多个分公司的服务和供应网络，及时应对客户需求。据介绍，座落于上海外高桥保税区的比欧西贸易（上海）有限公司拥有一个大型维修中心，占地8500平方米，其中办公室用地100平方米，维修车间及真空产品仓库用地2000平方米，而气体仓库用地为700平方米。维修中心能够提供全面的销售及维修服务，并由一个完善的管理架构作支持。除此之外，这服务中心的设计和建造是遵照比欧西爱得华的统一标准进行设计及建造，而且严格遵照比欧西爱德华的服务标准和运行要求。 
　　许坚指出，随着半导体及相关工业向更先进工艺的推进，行业对真空设备提出了更高的要求。真空设备需要更高的可靠性以减少生产的故障率；能源的昂贵和工厂资本高投入，需要通过新技术和新产品的开发来降低运行成本和拥有成本；半导体制造设备持续变大，大设备需要大的抽气量和快速达到真空度要求。对于尾气处理系统而言，许坚认为，目前国内加大了对环保的重视，对废气排放要求变得严格，同时，客户对于环境和安全意识加重，对毒性和易燃性废气的排放也提出了更高的要求。 
　　谈及未来BOC在中国的发展，许坚指着背后的“覆盖全球，聚焦中国”标语介绍道，BOC Edwards还将继续对中国业务进行新的大型投资，加强服务体系的建设，并计划在北京、深圳和成都三地扩大规模。在过去与制造商的合作中积累了大量的应对300mm和先进工艺的经验，并将之引入国内，另外，继续加强同业内领先供应商如应用材料共同开发适应市场需求的设备，许坚相信BOC Edwards在国内的业务仍将持续成长。