尼康开发出支持第4代玻璃底板的液晶面板

    分辨率为1.5μm的“fx-903m” 
    尼康开发出了2款支持第4代玻璃底板（尺寸为730mm×920mm）的中小尺寸液晶面板用曝光装置。包括生产率比原机型提高10％的“fx-803m”以及分辨率增至1.5μm的“fx-903m”。支持手机及车载用中小尺寸液晶面板的高精细化和高性能化。计划4月开始受理订单。
    采用步进曝光方式，使用尺寸150mm×150mm、厚度约6mm的光罩，可实现高精度的对准曝光。“fx-903m”通过增大i线镜头的直径、降低像差，实现了1.5μm的分辨率。30个镜头的制程时间均为61秒。
    另外，在用于便携设备的平板显示器（fpd）技术方面，4月16日将举行“fpdinternational2007”第2次会预备研讨会《移动宽带时代的用于便携设备的fpd、部件及材料技术；追求高画质、薄型化、低耗电》。