“硅电容/硅压阻复合传感器推研会”召开

由中国仪器仪表行业协会、中国机械工业集团公司、中国仪器仪表行业协会传感器分会联合主办，沈阳仪表科学研究院承办的“硅电容/硅复合传感器新技术、新产品推研会”在沈阳金剑大厦召开。

　　会议由中国仪器仪表行业协会董景辰副秘书长主持，中国仪器仪表行业协会副理事长朱明凯、中国机械工业集团公司副总裁徐建、沈阳市科技厅副厅长蔡彗星及沈阳仪表科学研究院院长徐开先分别致辞，沈阳仪表科学研究院的张治国、唐慧、张春晓高工做了技术报告，讲解了这些产品在科研与生产中遇到的问题和解决的办法，以及用户及专家的评价等等；吉化集团检修公司卢宏总经理介绍了双方合作的成果。

　　本次推研的主要技术和产品有：（1）用硅电容原理、MEMS工艺研制的硅电容传感器/智能变送器。（2）利用硅压阻原理、MEMS工艺研制的硅压阻复合传感器、硅压阻多功能变送器。（3）Profibus总线仪表。主要有：硅压阻Profibus智能变送器、硅电容Profibus智能变送器、HB3120型密度变送器、HB2901型氧气浓度变送器、HB3200型微水变送器、HB5200检测装置。

　　这些新产品采用了MEMS工艺、全固态封接、SOI隔离、悬浮结构、数字技术等先进技术，突破了一系列关键技术，具有自主知识产权，符合市场需求，填补了该项产品的国内空白。

　　本次会议还得到了沈阳市人大、辽宁省科技厅、辽宁省经贸委、辽宁省发改委、沈阳市科技局、沈阳市经贸委等部门的关心和大力支持，国内数十家产品用户、合作厂商参加了推研会，会议推出的系列产品引起了业内外的广泛关注。