12月29日，中微公司公告，基于经营战略发展考虑，公司拟以1亿元对上海睿励进行增资，认购上海睿励新增注册资本83,333,333.33元人民币，认购单价为1.2元/股（注册资本）。本次增资完成后，上海睿励注册资本增加至427,941,881.48元人民币，公司持有上海睿励股权比例为20.4467%。
上海睿励主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3D NAND芯片的生产，并正在验证96层3D NAND芯片的测量性能。
