高纯双氧水厂在苏州落成——产品为超大规模集成电路配套，填补国内空白

      高纯双氧水是半导体生产中不可缺少的配套材料，过去这一产品主要依赖进口，如今这一历史宣告结束。10月24日，国内首家生产高纯电子双氧水企业―－苏瑞电子材料有限公司在苏州吴中经济开发区落成投产，主要生产的100ppt级别高纯双氧水为8-12英寸IC企业提供配套。

　　苏瑞电子材料有限公司由比利时苏威公司和苏州电子材料厂合资建办。比利时苏威公司是一家国际化工及制药企业，双氧水生产能力及市场占有率全球第一，其中高纯双氧水市场占有率全球前三。苏州电子材料厂在国内微电子材料企业中独占鳌头，主要生产IC配套的光刻胶及各类化学试剂，公司自主研发的“超大规模集成电路用193纳米光刻胶”项目，列为国家“863”科技攻关项目。

　　此次两公司强强联合，主要生产100ppt级别高纯双氧水等产品，初期年生产能力为2000吨，主要为超大规模集成电路配套。据了解，“苏瑞公司”采用的是“比利时苏威”最新的专利技术，该技术目前处于世界领先水平。“新一代”苏威高纯双氧水的精湛之处在于工艺流程更加紧凑、高效，即在实现同等产能的前提下，可以将工厂建得更为小巧。