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Veeco推出业界最高生产率与最佳良率的EPIK700 MOCVD系统


  Veeco推出了最新的的TurboDisc®EPIK700™氮化镓(GaN)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,结合了该行业最高的生产率与最佳良率这两大优势,运营成本低,从而进一步降低通用照明应用的发光二极管(LED)的制造成本。
 
  EPIK700 MOCVD系统采用了Veeco大生产验证过的TurboDisc技术,具有行业内最大的反应腔,其产能相当于目前的其它反应腔的两倍多。反应腔的容量增加,再加上腔内波长均匀性以及生产力的提升,与之前的反应腔相比,其产量提高了2.5倍。

 

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