DNS将上市配备斜面清洗技术的晶圆冼净装置

      大日本网屏制造（DNS）将于2006年10月上市叶片式晶圆清洗装置“SS-3000BC”，配备有能够用纯水高速清洗晶圆斜面（端面及其邻接倾斜部分）的模块。配备该模块的装置“在业界尚属首例”（DNS）。 
　　一般来说，如果附着在斜面上的灰尘及污物在加工过程中脱落，就会导致成品率降低。尤其是今后的液浸曝光工艺，由于液浸部分的纯水也会流向晶圆端部，因此纯水中容易混入污物，可能会污染晶圆。为了解决这一问题，DNS开发了专门面向斜面清洗的模块，成功嵌入了该公司的叶片式清洗装置中。 
　　在清除斜面污物的技术方面，此前已经开发出了对斜面进行研磨的技术以及蚀刻技术。不过这些技术需要研磨液及药液，使用成本较高。而且还存在工件吞吐量较低的问题。 
　　而此次的斜面清洗技术则采用纯水的刷洗方式，因此不需要研磨液及药液，吞吐量也高达约100枚/时。该技术是通过高精度驱动、控制清洗刷实现的。由于可轻松改变清洗的宽度，因此不仅适用于规格上存在不均匀性的斜面形状，而且还可将图案的破坏减少到最小限。目前已通过设备厂商进行了实用验证，获得了较高评价。价格因性能配置而异，为1亿2000万～1亿7000万日元不等。计划2006年度销售10台。