近日，中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称「中微」)将正式发布多反应器金属有机化合物气相沉积设备(MOCVD)，并首次进入半导体照明市场。目前，中微已有 MOCVD 设备在国内一家著名的 LED 厂家运行。
中微MOCVD可以容纳多达4个反应器，每个反应器都可以独立控制。并且可以以并行或者串行模式运行，这就减少了交叉污染，并且保证了晶体的高质量。在占地面积上也有相当的优势，它比竞争者的单反应器机台的占地面积小了近30%，
“进入半导体照明市场是公司发展策略中的一个重要组成部分，”中微资深副总裁兼 MOCVD 产品事业群总经理杜志游博士说，“我们专业的 MOCVD 技术团队建立了一个优势明显、极具灵活性的 MOCVD 平台，它具有其独特创新性，可以解决复杂技术和生产方面带来的挑战。能够为客户提供高产能低成本的技术，用于他们先进的 LED 器件制造。”目前已拥有100多项专利(包括授权和未授权专利)以保护其独特的创新性。此外，它还遵循了半导体制造规则并完全符合 SEMI 标准。
根据法国某市场研究机构预测，到2017年，MOCVD 设备的市场规模预计将达到43亿美元。中国在全球制造业中仍将占主导地位。灯泡价格将下跌，LED 照明将取代传统白炽灯。灯泡变得更便宜，当然就意味着 LED 制造商能获取的利润更紧缩，这就使得设备制造商提高生产效率比以往任何时候都显得尤为重要。
